圖1表示了潔凈室的構(gòu)成。從構(gòu)成潔凈室整體的硬件來說，有以下幾部分：

1．潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)   

      由土建材料現(xiàn)場構(gòu)筑或工廠預(yù)制的構(gòu)件構(gòu)筑，它們包括潔凈廠房的土建結(jié)構(gòu)和在土建結(jié)構(gòu)內(nèi)分隔出潔凈室的建筑裝修部分。除了合理的平、剖面規(guī)劃布置外，為滿足潔凈要求的建筑和裝修構(gòu)造接點(diǎn)的設(shè)計和制作，也是重要的構(gòu)成部分。

2．空氣凈化系統(tǒng)   

      除了要滿足工藝要求的室內(nèi)溫濕度外，凈化空調(diào)系統(tǒng)的顯著特點(diǎn)是根據(jù)需要采用多級空氣過濾器、保證足夠的風(fēng)量和有序的壓力控制等。末級過濾器的性能對潔凈室具有關(guān)鍵作用，末端高效過濾器安裝的密封性也不可忽視。

3．附屬設(shè)備   

      為保證潔凈室的使用，應(yīng)有合理的人物流路線和合格的人物凈化設(shè)施，如空氣吹淋、傳遞窗等。此外，還有為工藝需要所敷設(shè)的其他工藝管線、用于監(jiān)測潔凈室潔凈度級別和壓力的相關(guān)儀器等。