1 范圍
本文件給出了監(jiān)測粒徑限值不超過0.1 μm（100 nm）的“納米尺度”粒子濃度的技術要求。
本文件給出的監(jiān)測技術要求主要用于“動態(tài)”。
注1：本文件提及的“納米尺度粒子”是指所有在1維上（納米片）、2維上（納米纖維）或3維上（納米粒子）具有納米尺度的納米物質。
注2：請注意，潔凈室內粒子的實際特性是由粒子的來源及其物理特性所決定的。
注3：本文件未考慮健康與安全事項。
2 規(guī)范性引用文件
本文件沒有規(guī)范性引用文件。
3 術語和定義
下列術語和定義適用于本文件。
ISO和IEC在以下網(wǎng)址維護用于標準化的術語數(shù)據(jù)庫：
IEC Electropedia：可從 htps：//www.electropedia.org/獲取；
ISO在線瀏覽平臺：可從https： //www.iso.org/obp獲取。
3.1 通用
3.1.1
潔凈室 cleanroom
空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間，其設計、建造到運行均使進入、產生、滯留于房間的粒子受控。
注1：規(guī)定了按空氣懸浮粒子濃度劃分的級別。
注2：也可對影響潔凈度等級的其他因素，如空氣中化學物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度 等級的其他因素，如粒子、納米粒子、化學物或微生物濃度等，作出規(guī)定并進行控制。
注3：溫度、濕度、壓力、振動和靜電等相關的物理參數(shù)，也可按要求受控。
[來源：GB/T 25915.1—2021,3.1.1]
3.1.2
潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子計數(shù)濃度受控并分級的限定空間。其建造和運行使進入、產生和滯留于空間的粒子受控。
注1：空氣懸浮粒子濃度的級別已確定。
注2：也可以對影響潔凈度等級的其他因素，如空氣中化學物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度等級的其他因素，如粒子、納米粒子、化學物或微生物濃度等，作出規(guī)定并進行控制。
注3：潔凈區(qū)可以是限定于潔凈室內的空間，也可用隔離裝置實現(xiàn)。隔離裝置既可設在潔凈室內也可在潔凈室外。
注4：溫度、濕度、壓力、振動和靜電等相關的物理參數(shù)，也可按要求受控。
[來源：GB/T 25915.1—2021 ,3.1.2]
3.2 尺寸
3.2.1
納米尺度 nanoscale（nanometer scale）
尺寸范圍約在1 nm~100 nm。
注：在此尺寸范圍內粒子的特性一般不是從較大尺寸的推導而得，但也并非絕對。
[來源：ISO/TS 800042:2015, 2.1]
3.2.2
分割粒徑 particle size cutoff
D50
計數(shù)效率為50%的粒徑。
注：計數(shù)效率解釋見附錄B。
3.3 空氣中的粒子
3.3.1
納米粒子 nanoparticle （nanometer particle）
所有外尺寸均為納米尺度（3.2.1）、最長軸與最短軸沒有顯著差別的納米物體。
注：若納米物質的最長軸線與最短軸線差別顯著（一般大于3倍），傾向于使用術語納米棒或納米片，而不用納米粒子。
[來源：ISO/TS 800042：2015, 4.4]
3.3.2
粒徑分布 particle size distribution
以累積分布表示的粒子濃度與粒徑的函數(shù)關系。
[來源：GB/T 25915.1—2021,3.2.4]
3.3.3
氣溶膠 aerosol
懸浮于氣體中的固體的或液體的粒子系統(tǒng)。
[來源：ISO 15900：2009,2.1]
3.4 占用狀態(tài)
3.4.1
動態(tài) operational
潔凈室（3.1.1）或潔凈區(qū)（3.1.2）設施按議定方式運行，且有規(guī)定數(shù)量的人員按議定方式工作的狀態(tài)。
[來源：GB/T 25915.1—2021,3.3.3]
3.5 測量儀器
3.5.1
凝結粒子計數(shù)器 condensation particle counter ； CPC
測量氣溶膠（3.3.3）粒子數(shù)量濃度的儀器。
注1：探測的粒徑一般介于幾納米到幾百納米之間。
注2： CPC可與差分電遷移率分析儀（DEMC）一起使用的探測器。
注3：在某些情況下，凝結粒子計數(shù)器也可稱為凝結核計數(shù)器（condensation nucleus counter,CNC）。
[來源：ISO 15900:2009,2.5]
3.5.2
計數(shù)效率 counting efficiency
給定粒徑范圍內讀出的粒子濃度與實際粒子濃度之比。
[來源：GB/T 25915.3—2010,3.6.5]
4 監(jiān)測
4.1 概述
就測量而言，唯一重要的粒子特性是其“當量直徑”。
4.2 原理
需方規(guī)定的監(jiān)測限值和要求，是根據(jù)需方和供方的商定，按規(guī)定測試方法進行測試并提供測試結果與測試條件的文件來驗證的。見GB/T 25915.2—2021中附錄A，它規(guī)定了以預期使用的風險評估為依據(jù)的監(jiān)測計劃的要求。所獲得的數(shù)據(jù)提供了潔凈室與納米粒子濃度有關的性能的佐證。
4.3 方法
為監(jiān)測空氣中的納米尺度粒子，用CPC對空氣中納米尺度粒子計數(shù)最有效。使用CPC進行監(jiān)測 的標準方法見附錄A。按納米尺度粒子監(jiān)測空氣潔凈度的方法，應給出系統(tǒng)性的計劃、良好定義了的步驟、闡明評估如何實施。一般來說，設施的告警值和行動值依據(jù)的是風險評估。如果供方和需方有要求，則可協(xié)商定立限值。
計數(shù)方法的標準內容應包括：
——待測的納米尺度粒徑；
——采樣和分析對時間的相關性；
——采樣量;
——采樣點位置；
——樣本數(shù)量；
——工藝/產品的關鍵性；
——潔凈區(qū)設計/平面圖。
至少與CPC測量具有可比性能的其他方法和儀器也可做出規(guī)定。如若沒有規(guī)定的或商定的其他替代方式，則使用此標準方法。
應使用校準過的儀器實施符合性驗證測試。
5 檢測報告
每個潔凈區(qū)的檢測結果應記錄下來并以綜合報告提交。數(shù)據(jù)總結要包括不良趨勢監(jiān)測數(shù)據(jù)的審核，運行水平，與4.2規(guī)定的監(jiān)測計劃相符的調查要求。
檢測報告應包括如下內容:
a）檢測機構的名稱、地址和檢測日期；
b）本文件編號，如 GB/T 25915.12—2021 ；
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